체크밸브 - check vlave

가스배관에 설치되며, 유체가스의 역류를 방지하기 위해 배압에 의해 작동하는 밸브. 2종류 이상의 반도체제조용 가스를 혼합하여 이용하는 경우, 혼합폭발과 독가스, 혹은 부식성가스 등의 역류에 의한 사고를 미연에 방지할 목적으로 이용한다.