원심 스프레이 세정장치 - centrifugal spray cleaning equipment

기술용어통 반디통 용어집
회전하는 로터에 탑재된 세정물에, 회전 중심축에서 세정액을 분무하여 세정하는 장치. 송액부(送液部)의 밸브를 바꾸어 세정액을 자유롭게 변경할 수 있어 세정물의 상태는 변하지 않고 일련의 세정처리를 완료할 수 있다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 습식세정장치 세정

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