원심건조장치 스핀드라이어 - centrifugal drying equipment spin dryer

고속회전에 의한 원심력을 이용하여 물이 떨어뜨려 신속하게 건조하는 장치. 건조 내부를 스프레이 세정할 수 있는 기능을 갖는 것을 특히 린서드라이어(rinser dryer)라고 한다. 최근에는 웨이퍼와 카세트의 정전기를 제거하기 위해 이오나이저(ionizer)를 내장하는 것과 카세트에 넣은 웨이퍼 개수의 차이를 미리 검출하여 무게중심 위치를 자동 조절하여 회전진동에 의한 치핑(chipping)을 방지할 수 있도록 한 것도 있다.