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캐리오버 - carry over

기술용어통 반디통 용어집
약액 침적세정에 있어서, 웨이퍼와 카세트에 부착된 약액이 다음의 약액조까지 넘어가는 것. 전달된 PRA제의 카세트에 흡수된 약품이, 다른 수조로 삼투압에 의해 통과하고, 보관용기 중에서 증발한다. 약액과 보관웨이퍼의 오염의 원인이 된다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 습식세정장치 세정