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칸티레버 - cantilever
기술용어통 반디통 용어집
웨이퍼가 설치된 보트를 견고하게 고정시키고, 반응관에 접속되지 않게 삽입한 상태에서 각종 반응을 일으키고, 반응완료 후 보트를 반응로 바깥으로 꺼내는 장치.
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