버퍼 - buffer

장치 안에 마스크, 웨이퍼 등의 기판을 일시적으로 수납하기 위한 곳. 보통의 카세트(carrier)를 이용하는 것과, 전용기구를 이용하는 것이 있다. 기판을 꺼내고 빼는 것은 FIFO(First Input First Output)과 LIFO(Last Input First Output)의 두가지 방법이 있다.