브러시 스크러버 브러시 세정기

회전하는 브러시에 세정액을 부으면서, 세정면을 누루면서 이동시켜, 표면부착물을 모조리 세정하는 장치. 브러시의 모양에는 원통형과 컵형이 있고, 브러시의 재료에는 식물성 털과 스폰지가 있다. 레지스트 도포 전에 먼지를 제거하는 데 사용되는 것 외에, 최근에는 웨이퍼 뒷면의 오염을 제거하는 것에 사용되고 있다. 한 면만 처리하는 장치와 양면을 동시에 처리하는 장치가 있다.