브라이트에칭 - bright etching

기술용어통 반디통 용어집
일반적으로 실리콘웨이퍼는 에칭 양이 증가할수록 광택도가 커지게 된다. 이 때문에 실리콘웨이퍼에 대하여 다량의 에칭을 실시하는 것. 실리콘 제거량에 있어서 40㎛이상의 에칭을 할 경우를 가리키는 일이 많지만, 에칭액에 따라 다르다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 폴리싱 폴리싱장치-가공 bright etching 브라이트에칭

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