보론프리필터 - boron free filter

붕소(boron)을 함유하지 않은 소재로 된 필터. 보통의 붕규산유리섬유를 여과재로하는, HEPA, ULPA필터는, 붕소를 서서히 방출하여, 트랜지스터특성의 왜곡의 한 원인이 된다. 거기서 붕소를 포함하지 않고, PTFE 멤브레인, 석영유리섬유 등을 여과재료로 하는 필터가 개발되고 있다. 또, 광의의 뜻은 붕규산유리섬유를 코팅하여, 붕소방출을 억제한 필터의 경우도, 보론프리(boron free)라고 한다.