바이어스 스퍼터링 장치 - bias sputtering system

웨이퍼에 음(-)의 바이어스 전압을 걸어주는 것이 특징이다. 이온의 일부가 기판에 흘러 들어가고 막성장과정에서도 웨이퍼 표면이 이온과 충돌하므로, 막 표면에 흡착된 불순물가스를 주입시켜 순화시켜 주며, 단차 피복성(step coverage)의 개선 및 평탄화 효과의 개선해준다.