빔 필터 - beam filter

전하량이 큰 이온을 주입할 때, 이온빔과 잔류가스의 충돌 등에 의해 발생하는 저에너지 이온을 제거하기 위해, 적당한 전위장벽을 설계하는 기구. 전하량이 큰 이온의 주입은 장치최대가속전압 이상의 주입에너지가 필요한 경우에 사용된다.