빔에지 분해능 - beam edge resolution beam edge slope

기판면 위에 결상(imaging)된 전자빔의 전류밀도분포곡선에 있어서, 빔의 끝에 서의 곡선의 상승부분(또는 하강부분)의 폭. 일반적으로, 전류밀도가 10％에서 90％까지 상승부분 사이의 폭으로 표시한다.

기술용어통 category-bandi 노광․묘화장치 마스크제조공정 패턴형성장치 beam edge resolution beam edge slope 빔에지 분해능