이온빔의 양을, 이온이 조사될 때에 단위시간당 운반되는 전하량, 즉 전류로 표시하는 것. 타겟에 있어서 시료에 조사되는 이온빔의 양을 말한다. 다가(多價)이온으로 된 이온빔의 경우, 이 전류량자체로 표시하는 경우와 전류량을 이 이온의 전하량으로 뺀 수치로 표시하는 경우가 있는데, 각각 eA(electric Ampere), pA(particle Ampere)등으로 표시한다.
기술용어통category-bandi이온 주입장치웨이퍼처리공정도핑beam current ion current빔전류량 이온전류량
