원통형 플라즈마 식각장치 - barrel type plasma etching ystem

원통형 식각실의 바깥 둘레에 전극을 설치하여, 식각실 안의 플라즈마에 의해 생성된 중성라디칼로 실내의 웨이퍼를 식각하는 플라즈마 식각장치. 식각실 안에 금속제 터널을 넣어, 하전입자가 웨이퍼에 입사되는 것을 억제하는 방식도 있다.