배킹 플레이트 - backing plate

스퍼터링방법에 있어서, 음극에 타겟을 설치할 때 사용되는 타겟지지판. 마그네슘 스퍼터링장치와 같은 큰 전류밀도의 방전을 사용할 경우, 타겟 자신의 온도상승을 방지하기 위해 타겟을 배킹 플레이트에 장착해, 이것으로 냉각시킨다.