백킹 패드 - backing pad

기술용어통 반디통 용어집
왁스리스 연마로 웨이퍼를 지지하는 템플레이트의 밑에 있고 웨이퍼에 데미지를 주지않도록 하면서 지지하는 부재. 일반적으로 부드러운 폴리우레탄의 발포체(發泡體)가 이용되는 일이 많다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 폴리싱장치-성능․정밀도 폴리싱 백킹 패드 backing pad

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