자동용융레벨제어시스템 - automatic melt level control system

기술용어통 반디통 용어집
쵸크랄스키장치에서 결정을 성장시킬 때, 결정이 성장함에 따라 도가니 안의 용융액면이 낮아지는데, 도가니를 상승시켜 이 용융액면의 상대적 위치를 일정하게 제어하는 시스템. 질 좋은 단결정을 얻기 위해서는 가열히터에 대해 상대적인 용융액면 위치를 일정하게 제어하는 것이 중요하다. 레이저광선을 용융액면에서 반사시켜 그 각도를 일정하게 하는 제어 방법이 주류이다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 단결정제조 단결정제조장치-성능․정밀도

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