자동댐퍼 - automatic damper exhaust for coater

기술용어통 반디통 용어집
레지스트의 도포, 현상할 때 공정 시퀀스(process sequence)에 따라 자동적으로 컵 안의 배기량을 제어하는 기구. 단순히 배기구를 개폐하는 방식에서, 최근에는 디지털로 제어하는 방식도 사용되고 있고, 시퀀셜 댐퍼(sequential damper)라고도 부른다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 도포장치

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!

해석 정확도를 높이고, 반복 작업을 줄여보세요.

내게 맞는 솔루션 찾기