약품자동희석혼합장치 - automatic chemical dilution (mixing) equipment

초순수에의한 희석 또는 2종류 이상의 약품을 자동적으로 혼합하여, 일정농도 또는 일정배합비의 약품을 조합하는 장치. 주로 세정액, 현상액, 에칭액의 제조에 사용된다. 약품소비량이 많은 반도체제조공정에는, 비용이점(cost merit)가 있다.