약품자동희석혼합장치 - automatic chemical diluting and mixing equipment

기술용어통 반디통 용어집
식각액과 세정액을 제조하는데 쓰이는 약품을 자동적으로 희석하고 혼합하는 장치. 과산화수소계 세정액은 사용직전에 제조해야 하므로 세정장치 안에 포함되어 있지만, 붕소식각액은 안정하기 때문에 미리 대량으로 희석시켜, 사용할 때마다 공급해주는 장치를 사용한다.
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