오제전자분광법 AES - Auger electron spectro - scopy

반/디 용어집 물성검사장치 검사 웨이퍼제공정

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고에너지의 전자선에 의해 이온화하여 여기되는 원자는 전자선 방사를 하지 않고, 완화하여 방출된다. 이 때, 이 오제전자의 스펙트럼을 측정하여 시료표면 근방에 존재하는 원자를 분석하는 방법.