오제전자분광법 AES - Auger electron spectro

고에너지의 전자선에 의해 이온화하여 여기되는 원자는 전자선 방사를 하지 않고, 완화하여 방출된다. 이 때, 이 오제전자의 스펙트럼을 측정하여 시료표면 근방에 존재하는 원자를 분석하는 방법.