대기압이온화질량분석계 - atmospheric pressure ionization mass spectrometer

N2, Ar 혹은 H2 중의 미량불순물성분을 분석하는 계기. 대기압하에서 이온화하는 것에 의해 미량불순물의 이온화효율을 향상시켜, 발생한 이온을 질량분석법에 의해 검출하는 방식이다. ppt 레벨의 검출이 가능하다. 모노실란 등의 특수재료가스 중의 미량불순물의 분석에도 적용할 수 있다.