상압 열산화장치 - atmosphere thermal oxidation furnace

1기압(상압)부근 열산화막을 형성하는 장치. 산화방법에는 건식산화(건조산소에 의한 산화), 습식산화(수증기산화), 수소연소산화 등이 있다. 반응관 및 히터의 배치방법에 따라 수평형 상압열산화장치. 수직형 상압열산화장치로 구분한다.