초순수용 대전방지구 - antistatic charge equipment for ultrapure water

초순수가 대전되어 웨이퍼면 위에 입자가 부착되면, 회로가 파괴되기 때문에 초순수중에 이산화탄소 등을 주입하여, 저항률을 1MΩ․㎝ 전후로 낮추는 장치. 초순수는 비저항이 높아, 움직임이나 마찰에 의해 대전된다. 다이싱 공정 등 초순수가 분무되어 사용되는 공정에 이용되고 있다.