미진동대책설비 - anti - vibration device

반도체제조장치가 요구하는 저진동레벨을 달성하기 위해 설치한, 진동을 발생시키는 쪽의 방진설비 및 진동을 받는 쪽의 제진설비. 노광장치 등의 미세가공공정 및 SEM 등의 검사공정에는, 4Hz 정도의 저주파영역까지의 대책이 필요하다.