반사방지막 ARC - anti - reflection coating

UV광을 흡수 또는 감쇠시키는 특징을 가지며, 노광할 때 발생되는 정재파(standing wave)와 헐레이션(halation)을 감소시키기 위해, 레지스트막의 상부나 하부에 위치한 막. 레지스트막 위에 위치하는 것을 TOP-ARC, 레지스트막의 아래에 위치하는 것을 BOTTOM-ARC 라고 구분하는 경우도 있다.