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어닐온도 - annealing temperature
기술용어통 반디통 용어집
시료를 가열처리할 때, 시료의 구조와 물성을 안정화시킬 수 있는 처리온도. 웨이퍼 공정에는 비정질층의 단결정화, 신터링(sintering), 계면의 특성향상, 왜곡제거 등을 하기 위한 열처리온도를 가리킨다.
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