이방성식각 - anisotropic etching

기술용어통

반디통 용어집
깊이 방향의 식각속도가 수평방향보다 큰 경우로써, 식각속도가 방향의존성을 갖는 것. 이방성이 클 경우, 깊이(수직)방향의 식각만 일어난다. 미세패턴 가공, 콘택, 측벽스페이서를 만드는데 이용된다.
반디통 category-bandi 건식식각장치 웨이퍼처리공정