분석 자석 - analyzing magnet

기술용어통 반디통 용어집
이온빔 속에 포함되는 각종의 이온에서, 필요로 하는 이온시드만을 추출하기 위한 전자석. 각 이온시드는 자기장 안을 각자의 운동량에 따라 다른 궤도를 그린다. 이것을 이용하여, 분석 자석의 자기장의 크기를 조정하여, 원하는 이온시드만을 선택한다.
기술용어통 category-bandi 이온 주입장치 웨이퍼처리공정 도핑 analyzing magnet 분석 자석

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