기류평행성 - airflow parallelism

일방향류형 청정실에 있어서, 일방향류를 형성하는 공기류의 직선성 및 평행성. 수직일방향류 청정실에서 서브라인 또는 리턴챔버내에서의 압력손실이 클 경우, 기류가 한쪽으로 흘러(편류), 일방향류를 얻을 수 없다. 일반적으로, 기류편류각은 14。이내에서 조정된다.