청정공기의 다운플로우(downflow)와 외부에의 배기의 풍량에 균형을 맞춘 기기세정에 있어서, 흐름의 상부에 작은 풍량을 갖는 청정공기의 수평층 흐름을 형성하여 약품 증기를 빠르게 배출하도록 한 것. 다운플로우의 풍량을 보통의 1/3정도로 낮추어도 청정도가 유지되기 때문에, 배기풍량을 대폭 줄일 수 있고, 청정실의 에너지를 줄이는 것에도 역할을 한다.
기술용어통category-bandi웨이퍼처리공정습식세정장치세정공기봉입식 세정챔버air seal type clean draft chamber
