공기가압방식 - air pressure type

기술용어통 반디통 용어집
마운트판의 가압방식 중에서 공기압을 이용한 에어실린더를 사용하여 탑링(top ring) 위에 하중을 가하는 방식. (주기적으로 탑링의 하중을 경감하는 방식으로 에어실린더를 작용시키는 감압방식도 있다.)
기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 폴리싱 air pressure type 폴리싱장치-형식 공기가압방식

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