플라즈마 분리형 마이크로파플라즈마 CVD장치 - after glow microwave plasma enhanced CVD system

마이크로파에 의한 플라즈마생성실과 성막실(成膜室)이 분리되어, 이 사이를 운송로로 결합시킨 마이크로파플라즈마CVD장치. 플라즈마가 웨이퍼에 직접 쏘지 않기 때문에, 플라즈마의 영향을 받지 않아 데미지(demage)가 낮게 막을 성장시킬 수 있는 것이 특징이다.