자동치수제어장치 - adaptive controller automatic thickness controller

기술용어통 반디통 용어집
가공중에 가공물의 치수를 자동적으로 계측하고 계측된 치수로 신호를 보내는 장치. 신호를 보내는 방법으로써, 위아래 정반 사이에 거리를 와전류센서로 표시하는 것, 수정편(水晶片)을 캐리어의 센서에 넣어, 수정 전압효과를 이용하여 표시하는 것 등이 사용되고 있다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 래핑 래핑장치-성능․정밀도

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