활성원자 라디칼 - activated species radical

빛․열 등의 에너지를 흡수하여, 에너지가 높은 상태로 여기시켜, 화학반응을 일으키기 쉬운 상태로 되어 있는 원자와 분자. 식각 가스에 고주파와 마이크로파를 인가하면 플라즈마 중에 발생하고 이것들이 막과 반응하여 식각이 진행된다. 라디칼, 유리기(遊離基) 등으로도 불리운다.