가속관 - acceleration tube

기술용어통 반디통 용어집
가속방식에 의해, 분석계(analyzing system)의 전이나 후에 설계되며, 이온에 에너지를 공급해 주는 관. 절연막과 전극으로 구성되며, 보통 다단구조이다. 각 전극에는 가속전압을 분할하여 인가하고, 전극간에 형성된 전계에 의해 이온을 가속한다.
기술용어통 category-bandi 이온 주입장치 웨이퍼처리공정 도핑 가속관 acceleration tube

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