아베 오차 - Abbe error

기술용어통 반디통 용어집
치수측정장치를 이용한 측정계에 있어서, 피측정점이 측정축 위에 없을 때에, 피측정 대상을 이동시키는 수단(stage 등)의 진직도(眞直度)의 오차에 의해 발생하는 측정값의 오차. 측정축과 피측정점의 어긋난 양을 , 스테이지(stage)계의 진직도 오차(각도오차)를 θ로 놓으면, 근사적으로 sinθ가 된다.
기술용어통 category-bandi 기본․공통 마스크제조공정