웨이퍼 수냉유로 설계안 이해하기

유체에 의한 냉각은 크게 공기와 액체로 구분합니다. 액체가 공기에 비해 전도율이 높기 때문에 더 큰 냉각효과를 얻을 수 있으나, 밀도가 높아 관로처럼 형태가 갖춰진 형태가 요구되게 됩니다. 웨이퍼 하부에 수냉유로가 있을 때 온도의 변화가 어떻게 이루어지는지 확인하는 예제입니다.