Wafer 수율 확보를 위한 CFD 적용 방안과 반도체 장비 내부 공정 예측 보고서

반도체 wafer 수율 향상을 위해 기류해석 및 복합열전달 해석을 진행하여 균일도 평가 및 성능 예측이 가능합니다.