식각실의 세정(cleaning) 또는 부품교환 후에 공정조건을 안정시키기 위해 여러 번 더미웨이퍼(dummy wafer) 등을 이용하여 식각사이클(etching cycle)을 실시하는 것
반/디 용어집건식식각장치웨이퍼처리공정
습식세정장치 웻스테이션 - wet cleaning equipment wet station
약용액․유기용매․물 등 액체를 사용하여 세정하는 장치. 유해한 약품과 용매의 증기가 발생하는 세정장치에는, 실내의 증기가 확산되지 않게 배기구(outlet)가 붙어있다. 또 약액에 대응하는 내산성 플라스틱, 유기용매에 대응하는 스테인리스강(stainless 鋼)이 몸통의 재료로 사용된다. 장치전용의 팬필터장치를 천장에 갖춘 팬필터형과 없는 오픈형으로 크게 구분된다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
사이트크기 - site size
웨이퍼 평탄도 측정에 있어서 사이트의 크기. 보통㎜×㎜로 나타낸다. 셀크기(cell size)라고 불리우는 것도 있다.
반/디 용어집검사웨이퍼제공정
미량용재산소계 - trace dissolved oxygen analyzer
초순수중의 미량용재산소를 측정하는 계기. 원리에는 격막식 칼버니전지법 또는 폴라로그래프법이 있다. 측정범위는 0-20～50ppb가 이용된다.
반/디 용어집설비․환경공정물
연결정밀도 - stitching accuracy
한 개의 패턴이 두 개 이상의 도형으로 분할되어 묘화될 때, 인접하는 두 도형 사이의 상대적인 위치 정밀도. 패턴의 분할은 다음 세 개의 경우일 때, 행하여진다. (1)패턴이 필드 또는 프레임보다 큰 경우 (2)서브필드보다 큰 경우 (3)빔 사이즈보다 큰 경우
반/디 용어집노광․묘화장치마스크제조공정
사이트 - site
웨이퍼를 어떤 일정한 방법으로 분활할 때의 한 구역. 1구역을 대상으로 한 평탄도를 사이트 평탄도(site flatness)
반/디 용어집검사웨이퍼제공정
베벨 - bevel
웨이퍼의 바깥둘레 등에 면가공연삭을 실시하는 것.
반/디 용어집기계가공면가공장치-가공장치
스텝식 X선 노광장치 - stepping X - ray aligner
웨이퍼를 반복 스테핑하여 노광하는 X선 노광장치.
반/디 용어집웨이퍼처리공정노광
스위프측정 - sweep measure - ment
피측정디바이스 입력을 연속적으로 변화시켜 출력의 변화를 측정하는 기능. 또는, 이 출력이 지정한 값이 되는 측정조건을 찾아내는 것을 말한다.
