기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

보안필터 안전필터 - safety filter

RO장치의 고압펌프의 직전에 설치된 고압펌프를 보호하기 위한 필터. 수㎛～수십㎛의 구멍지름의 필터가 이용되고 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
반송기 박스 - carrier box

웨이퍼를 운반 또는 보관하기 위한 용기. 제조하는 도중에 웨이퍼가 용기로부터 방출되는 가스에 오염되지 않도록 용기의 재질을 검사하는 것이 중요하다. 현재, 주로 폴리프로필렌 수지, 폴리카보네이트 수지가 사용되고 있다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
어드레스 멀티플렉스 기능 - address multiplex function

피측정메모리의 기능검사에 있어서, 한 개의 어드레스 입력핀에 대하여, 행 및 열 어드레스를 시분할(時分割)하여 지정하는 기능.

반/디 용어집 사공정 디버그
스카벤저 - scavenger

열산화장치, 열확산장치, CVD장치 등에 있어서, 반응로의 끝에 위치하며, 공정 가스와 열이 클리닝벤치(cleaning bench)쪽으로 확산되는 막기 위한 목적으로 반응관에 접속하는 부분.

반/디 용어집 산화장치 웨이퍼처리공정
비동기테스트 - asynchro - nous

신호용 디바이스와 비디오 RAM 등, 여러 개의 주파수를 필요로 하는 비동기디바이스에 있어서, 다른 주파수를 인가하여 시험하는 것. 예를들면, 듀얼포트(dual ports)를 갖는 비디오 RAM에 있어서는, 타이밍발생기와 패턴발생기를 각각 2대 사용하여 시험한다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
선택여기 - selective excitation

반응가스에 더해지는 가시영역과 자외선영역 파장의 빛을 선택하여 반응가스를 활성화하는 것

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
볼쉐어테스터 - ball shear tester

와이어본드 후의 접합강도를 시험하는 장치. 접합된 볼을 접합면에 평행하게 잡아당겨 벗겨낼 때의 힘을 측정한다.

반/디 용어집 조립공정 검사평가
반사고속전자선회절법 RHEED - reflection high energy electron diffraction method

고속전자선을 입사각을 작게하여 입사시켜, 반사 또는 표면에 미소하게 볼록한 부분(凸部)에서의 투과회절로 패턴의 상을 맺는(결상) 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
스텝 앤드 리피트식 묘화법 - step and repeat drawing method

스테이지가 원하는 거리를 이동하고 정지하는 것을 반복하고, 정지 중에는 벡터 스캔 또는 라스터 스캔으로 묘화하는 방식

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정

기술용어통 처음으로

반디통 용어집

반도체 용어집

자주 찾는 용어

서셉터 - susceptor

RCA세정 - RCA cleaning

에치백 - etch back

SOG 도포 - spin on glass...

위상차(位相差) - phase shift

SAC식각 - self - aligned...

캐리어가스 - carrier gas

보안필터 안전필터 - safety filter

반송기 박스 - carrier box

어드레스 멀티플렉스 기능 - address multiplex function

스카벤저 - scavenger

비동기테스트 - asynchro - nous

선택여기 - selective excitation

볼쉐어테스터 - ball shear tester

반사고속전자선회절법 RHEED - reflection high energy electron diffraction method

스텝 앤드 리피트식 묘화법 - step and repeat drawing method