기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

공간필터 - spatial filtering

화상의 특징 유출 잡음제거, 특징의 선명화, 첨예화를 하기 위해 이용되는 필터. 이차원 화상정보의 가장 기본적인 처리방법의 하나.

반/디 용어집 사공정 spatial filtering
극성 - polarity

포토마스크의 흑백부분의 관계를 말한다. 그림 (a)와 (c), 그리고(b)와 (d)는 서로 반대의 극성관계가 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
검출기 - detector

물리량과 물질의 유무 등을 검출하고, 전기량이나 전기신호로 변화시키는 것. 전자빔 묘화장치에는 일차전자, 이차전자, 반사전자 등의 전류량, 전자빔의 형상측정용 등으로 이용되고 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
막상(膜狀)프로브카드 - membrane probe card

폴리이미드, 실리콘 등의 막 모양의 기판에 펌프를 형성하여, 패턴 등으로 접속회로를 형성한 카드. 작은 패드, 패드간극이 협소한 웨이퍼에 적당하다.

반/디 용어집 사공정 membrane probe card
리드프레임 - lead frame

칩을 조립할 목적으로 사용되는 금속제의 지지체로서 다수의 패턴이 형성되어 있다. 패턴에는 다이패드, 리드 등이 형성되고 칩마운트, 와이어본드 및 몰드가공이 된 후에 분할하여 소자가 형성된다.

반/디 용어집 조립공정 기본․공통
공정용배기처리장치 - exhaust gas abatement equipment for processor

각종 CVD, 이온주입, 식각등의 반도체제조공정장치에서 배출된 독성가스를 무독화하는 장치. 처리방식에는 흡착제식과 연소식 등이 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
데이터레벨 전원 - data level source

피측정디바이스의 기능검사에 있어서, 드라이버에서 출력되는 전압 및 비교기로 비교된 전압의 레벨설정용 전원.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
기준면 - reference plane

웨이퍼 평탄도를 측정하거나 웨이퍼면을 노광할 때에 기준이 되는 평면.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
검출감도선형성 검출선형성 - linearity of detection sensitivity

검출 데이터의 평균값과 이상값와의 비례관계에서의 차이

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정

기술용어통 처음으로

반디통 용어집

반도체 용어집

자주 찾는 용어

서셉터 - susceptor

RCA세정 - RCA cleaning

에치백 - etch back

SOG 도포 - spin on glass...

위상차(位相差) - phase shift

SAC식각 - self - aligned...

황산과산화 수소세정 피라냐세정 - sulfuric...

공간필터 - spatial filtering

극성 - polarity

검출기 - detector

막상(膜狀)프로브카드 - membrane probe card

리드프레임 - lead frame

공정용배기처리장치 - exhaust gas abatement equipment for processor

데이터레벨 전원 - data level source

기준면 - reference plane

검출감도선형성 검출선형성 - linearity of detection sensitivity

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!