마스크블랭크, 블랭크마스크 - mask blank, blankmask
포토마스크 제조용 기판. 유리기판 위에 자외선 등의 빛을 차단하는 박막을 형성한 후, 레지스트를 도포시킨 것을 가리킨다. 차광막(遮光膜)으로 주로 크롬이 사용되며, 때로는 실리콘․몰리브덴실리사이드 등이 이용된다. 또, 단층 크롬막 이외에, 표면에 산화크롬막을 갖는 2층막, 크롬층을 산화크롬 사이에 삽입한 3층막도 자주 이용된다. 높은 광투과율, 낮은 열팽창율, 적은 결함, 높은 화학적․기계적 강도가 요구된다.
반/디 용어집
기본․공통
마스크제조공정
