패키지의 찌꺼기를 저융점 유리(glass)를 이용하여 밀봉하는 장치. 질소분위기 중에서 가열하여 덮개를 녹여 붙인다.
반/디 용어집패키지조립공정
임계선폭정밀도 - CD accuracy
일반적으로, 임계선폭(CD) 즉, 100㎛ 이하 패턴의 선폭과 간극, 패턴 위치 등의 정밀도. 노광량, 현상조건, 식각조건 등의 프로세스 파라메터 관리와 제품의 치수관리에 이용된다.
반/디 용어집검사장치마스크제조공정
위치정밀도 - pattern position accuracy
비교 기준을 기초로 하여 절대적, 상대적 위치 정밀도로 나눈다. 절대적 위치 정밀도는 본래 원하는 설계위치와 가판 위에 묘화된 패턴 위치와의 차이의 정밀도이고, 상대적 위치정밀도는 비교 기준이 되는 마스크 위의 패턴과 검사대상인 마스크 위의 패턴 위치와의 차이의 정밀도를 말한다.
반/디 용어집노광․묘화장치마스크제조공정
와이어굴곡 컬(curl)양 - crooked wire wire sway wire curl
2점간을 본딩한 와이어가 위에서 보았을 때, 직선이 되지 않고 움푹 들어간(만곡) 상태. 본딩면에 투영된 와이어루프가 직선이 되지 않고 만곡을 이루는 상태.
반/디 용어집조립공정본딩
열챔버 - thermal chamber
항온기능 및 필요에 대응하여 항습기능, 전자파대책기능 등을 갖는 클린벤치, 클린부스(clean booth) 또는 클린챔버. 주로 핫리소그래피 등의 항온성이 필요한 공정에 이용되며, 정밀도는 ±0.1。C 및 ±0.01。C의 기종이 있다.
