챔버 구조물의 내부 진공 압력에 대한 구조 안전성 검토

반도체 공정에 사용되는 장비의 특성상 운행 시 진공펌프를 이용해서 항상 내부 진공상태를 유지합니다. 일반적인 압력 팽창과 반대 방향으로 진공압이 작용하며 이를 어떻게 해석 검증할 수 있는지 트랜스퍼 챔버 예제와 함께 알아보도록 하겠습니다.