반디통 용어집

편향기에 전자빔을 편향할 때, 편향양의 증대 또는 편향방향에 의해 비점(非点)수차가 발생한다. 이런 수차의 제거를 위해 편향신호에 따라 비점수차를 보정하는 것.

전자빔이 기판을 형성하는 물질 안에서 산란할 때, 현상 후의 레지스트 패턴 형상이 왜곡되는 현상. 일반적으로, 패턴 간극을 좁게 하면, 이 효과가 더욱더 현저하게 나타나므로, 이런 이름이 붙었다.

노광을 위한 제어계. 패턴데이터의 전송수단․기억수단․데이터변환수단(실시간)․묘화패턴의 발생수단 등의 하드웨어 및 이것들을 총괄 제어하는 소프트웨어로 이루어져 있다.

비교적 에너지가 높은 전자빔(보통, 50KV 이하)을 이용하여 패턴을 묘화하는 것. 레지스트 내에서의 전자빔의 산란효과를 감소시키기 위한 해상도가 높은 레지스트 상을 형성할 수 있다.

위상시프트마스크를 제작할 때에 필요한 첫 번째 층의 노광과 두 번째 층의 노광의 회전방향의 부정합을 교정하는 기능을 가진 척

패턴 데이터 위의 선폭과 마스크 위에 형성된 패턴의 선폭의 차이를 보정하는 것으로, 패턴 데이터 자체를 보정하거나, 노광, 공정조건의 제어를 통해 보정하는 것.

패턴 제너레이터에 있어서, 패턴 데이터 정보에 의해 장방형의 폭, 높이, 회전각도(0°～90°)가 변하는 개구(開口)

전자빔을 가속하기 위해 전자원(電子源)에 인가된 직류전압전원. 전자빔의 안정도를 얻기위해, 고안정화 전원이 이용되고 있다.

서로 이웃한 다이의 중심점 사이의 피치