기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

열풍(熱風) 건조장치 - hot air(gas) drying equipment

가열한 공기 또는 질소가스를 불어넣어, 물을 증발시켜 건조하는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 세정
오존첨가 초순수 - ozonized ultrapure water

미량(ppm 단위)의 오존을 첨가한 초순수. 초순수 속에 용해된 오존은 세정 중에 강력한 산화제로써 작용하며, Si 웨이퍼 위의 계면활성제 등의 잔류유기물을 분해․제거하고, 균일하고 평탄한 산화막을 형성한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
오버플로우 린스 - overflow rinse

물의 흐름이 워크의 위 방향에서 아래 방향으로 흘러, 평균적으로 수조의 윗면에서 흘러넘치는 순수세정방식.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
원심 스프레이 세정장치 - centrifugal spray cleaning equipment

회전하는 로터에 탑재된 세정물에, 회전 중심축에서 세정액을 분무하여 세정하는 장치. 송액부(送液部)의 밸브를 바꾸어 세정액을 자유롭게 변경할 수 있어 세정물의 상태는 변하지 않고 일련의 세정처리를 완료할 수 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
워터 마크 - water mark

세정건조된 세정물의 면 위에 잔류하거나 부착된 물방울에 의해 생기는 얼룩.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 세정
웨이퍼폭 축소탑재장치 - wafer group closing mechanism

카세트리스(cassetteless) 웨이퍼스테이션에 있어서, 50장의 웨이퍼를 일괄처리하기 위해 로딩(loading)할 때, 서로 떨어진 두 카세트에서 골라낸 25장의 웨이퍼 두 그룹을, 마치 50장용의 카세트에 넣은 것처럼 근접시켜, 로봇 척에 탑재하는 장치. 25장의 웨이퍼를 탑재한 2개의 척을 근접시켜 50장을 일괄운송하는 방식도 있다. 세정조(cleaning bath)의 소형화가 가능하다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
인라인히터 - inline heater

가열약액세정과 가열순수린스를 하기 위해, 공급배관 또는 순환여과배관에 약액을 흐르게 하면서 가열할 수 있도록 한 장치. 처리조 안에 투입 히터를 사용하지 않고 세정할 수 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
일조식 세정장치 원 배쓰식 세정장치 - one bath type cleaning equipment

한 개의 세정처리부(수조․탱크․챔버 등)에서 여러 세정처리를 순차적으로 진행할 수 있는 장치. 장치점유면적이 작지만, 반면에 쓰루풋(throughput)이 저하된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
원심건조장치 스핀드라이어 - centrifugal drying equipment spin dryer

고속회전에 의한 원심력을 이용하여 물이 떨어뜨려 신속하게 건조하는 장치. 건조 내부를 스프레이 세정할 수 있는 기능을 갖는 것을 특히 린서드라이어(rinser dryer)라고 한다. 최근에는 웨이퍼와 카세트의 정전기를 제거하기 위해 이오나이저(ionizer)를 내장하는 것과 카세트에 넣은 웨이퍼 개수의 차이를 미리 검출하여 무게중심 위치를 자동 조절하여 회전진동에 의한 치핑(chipping)을 방지할 수 있도록 한 것도 있다.

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열풍(熱風) 건조장치 - hot air(gas) drying equipment

오존첨가 초순수 - ozonized ultrapure water

오버플로우 린스 - overflow rinse

원심 스프레이 세정장치 - centrifugal spray cleaning equipment

워터 마크 - water mark

웨이퍼폭 축소탑재장치 - wafer group closing mechanism

인라인히터 - inline heater

일조식 세정장치 원 배쓰식 세정장치 - one bath type cleaning equipment

원심건조장치 스핀드라이어 - centrifugal drying equipment spin dryer