반디통 용어집

전자빔의 축을 정렬하고, 전자광학계의 렌즈의 중심에 전자빔을 통과시키기 위한 조정. 캐소드, 스펙트로메터 등의 기계적인 정렬과 빔, 개구(aperture) 등의 전기적인 정렬이 있다.

압력쿠거(pressure cooker)의 문을 닫기 전에, 압력용기 안에 남아있는 공기.

피측정디바이스의 전기적 특성을 측정하기 위하여 피측정디바이스 핀에 접촉하여, 테스트와 피측정디바이스의 사이에 전기적 인터페이스를 하는 부품.

CAD의 마스크레이아웃(mask layout)과 SEM화상을 미리 대응시켜 놓고, 측정하고자 하는 망(net)이름 등을 입력하면, 이 곳이 해석장치의 화면에 표시되도록, 해석장소를 결정하는는 것을 도와주는 방법.

테스트 프로그램에 있어서, 지정된 항목의 측정결과에 따라, 다른 측정항목으로 점프하는 기능.

웨이퍼에 걸리는 프로브 침의 압력(오버드라이브)를 웨이퍼의 모든 부분에서 일정하게 유지하는 기능.

측정하려는 이미지센서디바이스를 사용하여 얻은 컬러화상 위에 임의의 영역에 있는 R′,G′,B′출력레벨을 일정하게 하기 위한 연산처리.

마이크로파 대역(bandwidth)에 있는 디바이스 특성을 표현하는 파라메터의 일종. S 파라메터에는 S11, S12, S21, S22의 네가지가 있다.

ROM의 기능을 검사할 때의 기대값 데이터를 발생하기 위한 데이터를 저장해 두는 메모리.