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자기진단기능 - self diagnostic function

장치 각 부분의 기능, 정밀도가 정상인가 아닌가를, 장치 내의 기능을 사용하여 자동적으로 판정하기 위한 기능. (이 때, 기준이 되는 치구(jig) 등을 가리켜, diagnostic보드(진단보드)라고 한다.)

반/디 용어집 기본․공통 사공정
응집여과장치 마이크로프로그여과기 - filtration equipment with coaqulation

여과기의 직전에 응집제를 첨가하면서 여과하는 장치. 성장하는 작은 프로그를, 침전지(沈澱池)를 이용하지 않고, 직접 여과기로 물이 흐르게 해, 여과층전체에서 포착한다. 주로 탁질이 적은 원수에 이용되고 있다.

반/디 용어집 사공정 신뢰성 검사
응집침전장치 - coagulo - sedimentation tank coagulo - setting tank

약품주입, 혼화(mixing) 및 프로그(frog, 응집생성물)형성의 앞단을 통하여, 크게 성장하는 프로그를 침전분리하는 제탁장치

반/디 용어집 사공정 에싱
인덱싱 - indexing

웨이퍼를 프로빙하기 위하여 서로 인접한 칩의 세로, 또는 가로방향으로 이동시키는 것을 말한다. 멀티사이트 프로빙의 경우에는 여러 개의 칩이 이동한다. 칩과 칩 사이의 거리가 다르면 이종 인덱싱이라고 한다.

반/디 용어집 사공정 핸들링
응집제주입장치 - coagulants feeding equipment

응집침전법 등에 있어서, 충분한 프로그가 형성되도록, 응집제 및 응집보조제를 주입하는 장치. 응집제의 종류는, 원수의 질, 탁도와 취급성 등으로부터 결정된다. 주로 PAC와 황산알루미늄이 이용된다. 응집보조제는, 응집제만으로는 프로그 형성이 불충분한 경우에 응집을 도와주기 위하여 사용한다. 주로 알길산소다와 폴리머등이 이용된다. 저축조, 희석조, 주입펌프로 구성된다.

반/디 용어집 사공정 신뢰성 검사
염소제주입장치 염소초리장치 - chlorination equipment

살조류(殺藻類), 살균, 세정 등을 목적으로, 응집침전조 또는 여과기 입구 등에 염소제를 주입하기 위한 장치.

반/디 용어집 사공정 신뢰성 검사
이차전자상관측기능 - secondary electron image

측정하려는 시료에 연속빔을 조사하여 실시간 상(real-time image)을 관측하는 것과 일차전자빔을 조사하여 스트로브상(image)의 관측하는 두가지가 있다.

반/디 용어집 사공정 디버그
웨이퍼엔드 - wafer end

한 장의 웨이퍼측정 종료시에 프로버에서 출력된 신호. 이것 외에 웨이퍼의 언로드(unload)할 때 신호의 웨이퍼카운트(wafer count), 로드엔드할 때 신호의 랏엔드(lot end)가 있다.

반/디 용어집 사공정 핸들링
오버트래블 오버드라이브 상승량 - over travel over drive

프로버의 프로브니들 끝이 웨이퍼 표면에 접속한 후, 프로브니들의 전기적 접촉을 확실하게 하기 위하여 웨이퍼표면을 상승시키는 거리

반/디 용어집 사공정 핸들링

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

자기진단기능 - self diagnostic function

응집여과장치 마이크로프로그여과기 - filtration equipment with coaqulation

응집침전장치 - coagulo - sedimentation tank coagulo - setting tank

인덱싱 - indexing

응집제주입장치 - coagulants feeding equipment

염소제주입장치 염소초리장치 - chlorination equipment

이차전자상관측기능 - secondary electron image

웨이퍼엔드 - wafer end

오버트래블 오버드라이브 상승량 - over travel over drive

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