반디통 용어집

프로버 등으로 웨이퍼의 위치와 방향을 조정하는 것.

PLL를 포함한 디바이스에서의 출력데이터에는 타이밍의 미묘한 차이가 포함되어 있다. 이 변동을 계측하는 측정기. 데이터의 표시로서는 σ로써 100ps 등으로 표시된다.

전압원보다 높은 저항을 달아 인가하여, 피측정디바이스에 스트레스를 주지 않는 콘택체크 측정법. 또는, 피측정디바이스에 전압을 인가하여, 피측정디바이스에 걸리는 전압원을 자기진단하는 것.

용장회로(redundant cell)를 갖는 메모리디바이스의 웨이퍼테스트 공정에서, 특히 불량구제처리를 하기 전의 테스트를 가리킨다.

시험대상이 되는 것의 총칭. MUT는 특히, 메모리 IC가 시험대상이 되는 경우를 가리킨다.

아날로그 및 디지털 회로가 혼합되어 있는 각종 IC를 측정할 수 있는 테스터. 피측정디바이스로써는 ISDN 인터페이스, VTR/CD 등의 오디오신호처리 IC 및 A/D, D/A내장의 마이크로프로세서 등이 있다. 아날로그디지털 테스터, 또는 디지털아날로그 테스터라고도 부른다.

주로 전자이동성시험으로 평가한 디바이스의 전류밀도와 수명의 관계를 추정하는 그래프. 같은 수순으로 작성된 시료를 몇 개의 그룹으로 나누어 인가된 전류를 변화시켜 시험한다. 이것으로 얻어지는 수명으로 그래프를 작성한다.

고주파측정을 위하여 테스트헤드를 프로버에 직접접속하기 위한 장치. 장치에는 테스트헤드의 중량을 경감하기 위한 기구도 포함된다.

DUT 안의 온도측정용 칩오븐의 순방향전압을 측정하여, 칩의 온도를 제어하는 것.